Pumpen - Vakuumpumpe

Vakuumpumpen werden zur Erzeugung eines Vakuums verwendet. Dabei unterscheidet man die Vakuumpumpen nach dem von ihnen erzeugten Vakuum und nach ihrem Funktionsprinzip. Je nach ihrem physikalischen Wirkprinzip werden Vakuumpumpen in Gastransfervakuumpumpen und in gasbindende Vakuumpumpen eingeteilt. Je nach der zu erreichenden Vakuumstufe und erforderlicher Pumpleistung werden verschiedene Vakuumpumpen oder Kombinationen derselben eingesetzt. Unterschiedliche Pumpentypen weisen funktionsgemäß verschiedene Einsatzbereiche auf. Um niedrige Vakuumdrücke zu erzielen, benötigt man oft (beispielsweise für Drücke p < 10−3 mbar) zwei Pumpstufen. Die erste Pumpe (z. B. eine Drehschieberpumpe) erzeugt ein Vorvakuum und wird häufig als Vorpumpe bezeichnet, die nächste Pumpe ist dann mit dem Rezipienten verbunden. Typische Pumpenkombinationen bestehen beispielsweise aus einer Verdrängervakuumpumpe als Vorpumpe und einer Turbomolekular-Vakuumpumpe.